石英ガラス、CaF2、結晶材料など素材と精密加工、設計(光学・メカ)、光学ユニット製作まで
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株式会社大興製作所
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UVレーザー用光学素子 (フライアイレンズ ・ マイクロレンズアレイ)

DUVシリカガラス素材のフライアイレンズ、 マイクロレンズアレイです。
紫外線を透過、また紫外線に対する耐久性に優れています。
型成型により、ご仕様に応じた形状のご提案が可能です。
                            
【用途】露光装置、レーザー加工、均一照明等

特徴

◆ 照射面を均一化

    ・レンズを縦横に並べた構造で光の均一化が可能

   ・レンズ形状、構成により平面、ラインのサイズ変更可能

◆ 優れた光学特性、材料特性
   ・DUVシリカガラスを使用したフライアイレンズ
   ・DUV領域で高い透過率特性
   ・高い強度と耐久性、耐熱性 

◆ 自由な形状設計                      

   ・球面、非球面対応可能                               
 

 

材料物性 (透過率 / 物性データ)

 

透過率365nm
92
密度
2.2/cm³
ビッカーズ硬度
7701N/mm²
熱膨張係数
5.8×10⁻⁷ K¹
最大使用温度
1000