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株式会社大興製作所
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グラフェン基板

【 グラフェン(graphene)とは 】
炭素原子でできた六角形格子構造をした、1原子の厚さのシート状物質です。
半導体素子や透明導電膜などの用途の他、幅広い分野での応用が研究されています。従来法では、金属箔上にグラフェンを成膜してから所望する基板に転写する必要がありましたが、新たな方式として転写プロセスを伴わず、大面積のガラス基板などにグラフェンを直接成膜する方式を紹介しています。

特 長
◆グラフェンを直接基板に成膜しているため、基板全体に均質なグラフェンが生成可能
50mm角など比較的大型の基板への成膜が可能
◆石英基板以外のガラスや、シリコン、サファイアへの成膜も可能
◆下記は一例です(成膜条件を変更することで抵抗値や透過率を変化させることが可能)

 

 

製作例 

 

製作例(1)
製作例(2)
製 法   
 
基 板
 
サイズ
 
抵抗値
 
透過率
Microwave Plasma CVD法
 
合成石英ガラス
 
10 x 10 (mm)
 
1.58KΩ
 
60
Thermal CVD法  
                   
合成石英ガラス
 
10 x 10 (mm)
 
3.8KΩ
 
80-90