均熱ホモジナイザ （カスタム品）

基板等、ターゲットに対しての均一加熱照射ユニットです。（不均一ホモジナイザ）
熱の逃げ易い四隅の照射を改善することにより、全体の温度ムラを抑えることで均熱照射を実現しています。
お客様のご仕様に沿ってカスタム設計いたします、お気軽にお問合せください。