SiC基板（シリコンカーバイド基板）

炭化珪素基板 Labo-SiC

標準品としてウエハータイプ 　／　正方形タイプ　のサイズがございます。

製品	セット枚数	価格	購入
□10×10×0.35ｔ（mm）	5	¥21,000(税込 ¥23,100)
□10×10×0.35ｔ（mm）	10	¥36,000 (税込 ¥39,600)
φ101.6×0.35ｔ（mm）	1	¥55,000 (税込 ¥60,500)

【特徴】

テスト用基板として使いやすい、低価格／短納期のSiC(シリコンカーバイド)基板です。

SiCウェハーサイズだと大きすぎる実験の場合に最適な10mm角SiC及びウェハーサイズを用意しています

　・4H-Nタイプ

　・マイクロパイプ数　：　≤ 15 cm-2　（テストグレード）

　・Si面：CMP仕上げ

　・C面：光学鏡面仕上げ(ミラー）

※マイクロパイプとは

　…直径１〜10umの大きく中空状の結晶欠陥。

　　らせん転位（刃状転位における原子配列のずれから、結晶内の原子がずれた転位）の1種です

　　転移方向はC軸<0001>に平行となります。

※テストグレードとは

　…製品グレードよりマイクロパイプ数の多いグレード（ダミーグレードとも）です

　　製品グレード（マイクロパイプ数 ≤ 0.5 cm-2）での製作もカスタマイズにてお受けします

【ご利用ユーザー例】

　・大学・研究機関

　・LSI製造

　・センサ・MEMS製造

　・自動車製造

　・電力

　・LED製造

　・製薬

　・半導体用装置製造