製品情報

ホーム > 製品一覧  > 半導体分野向け製品  > 半導体装置用ガラス製品  > 石英槽

製品情報

石英槽

半導体製造のバッチ式ウエット(薬液処理、洗浄)プロセスで使用される石英ガラス槽を製作しています。
石英ガラス槽は、石英ガラスは他の材質と比較して、金属汚染・パーティクルの発生が極めて少なく、また複雑な構造も研削・溶接加工にて製作可能です。
大興製作所では、お客様のニーズに合わせた設計、カスタマイズを行っております。

材質

石英ガラス槽の材質は次の中で用途に応じてお選びいただけます。

溶融石英ガラス
低アルカリ溶融石英ガラス
合成石英ガラス