石英ガラス、CaF2、結晶材料など素材と精密加工、設計(光学・メカ)、光学ユニット製作まで
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株式会社大興製作所
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製品情報

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石英槽

半導体製造のバッチ式ウエット(薬液処理、洗浄)プロセスで使用される石英ガラス槽を製作しています。
石英ガラス槽は、石英ガラスは他の材質と比較して、金属汚染・パーティクルの発生が極めて少なく、また複雑な構造も研削・溶接加工にて製作可能です。
大興製作所では、お客様のニーズに合わせた設計、カスタマイズを行っております。

材質

石英ガラス槽の材質は次の中で用途に応じてお選びいただけます。

溶融石英ガラス
低アルカリ溶融石英ガラス
合成石英ガラス