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ベルジャー・チャンバー

高純度・耐熱性・耐薬品性という石英の特性を生かし、ベルジャーやチャンバーをはじめとするエッチング・アッシング用石英部品や、ランプアニール用石英チャンバーなどの石英ガラス製品を開発・製造しています。