ベルジャー・チャンバー

高純度・耐熱性・耐薬品性という石英の特性を生かし、ベルジャーやチャンバーをはじめとするエッチング・アッシング用石英部品や、ランプアニール用石英チャンバーなどの石英ガラス製品を開発・製造しています。