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ウエハーガイド・ボート

高純度・耐熱性・耐薬品性という石英の特性を生かし、半導体製造のウエット洗浄プロセス、拡散・CVDプロセス用のウエハーガイド・ボードをお客様の仕様に応じて製作します。

材質


石英ガラス槽の材質は次の中で用途に応じてお選びいただけます。

溶融石英ガラス
低アルカリ溶融石英ガラス
合成石英ガラス