石英ガラス、CaF2、結晶材料など素材と精密加工、設計(光学・メカ)、光学ユニット製作まで
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株式会社大興製作所
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製品情報

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インラインヒーター

大興製作所のCLヒーター(chemical Line Heater)は、半導体製造プロセスにおける
各種薬液の高温加熱用として 高純度の石英ガラスを使用したハロゲン光源を利用した
クリーンな高効率な加熱ユニットです。使用継手についてはカスタム可能ですので
ご相談ください。

特徴

クリーン 熱交換部分の接液、外管を石英ガラスで構成
安全性 テフロン(耐酸、耐熱)設計
有効性 省スペース化、液量の少量化
熱源 ハロゲンランプヒーターによる赤外線光エネルギー
筐体 メンテナンスが容易なコンパクトサイズ