製品情報
インラインヒーター (CLヒーター）
大興製作所のインラインヒーター(CLヒーター：Chemical Line Heater)は、半導体製造ウエットプロセスにおける各種薬液・純水の高温加熱用として接液部は高純度の石英ガラスを使用し、ハロゲンランプヒーターによる赤外線光エネルギーを利用したクリーンな加熱ユニットです。使用継手についてはカスタム可能ですのでご相談ください。
特 徴
�� クリーン性
接液部は金属イオン溶出が極めて少なく、また耐熱性や耐薬液性に優れた石英ガラスです。
また光放射加熱方式のため、ヒーター破損時の金属汚染はありません。
�� 高効率な熱源
立上り、立下りの素早いハロゲンヒーターです。85％以上の赤外線変換、投射します。
�� 安全性
過昇温センサー、過熱検知センサー、漏液検知導線を付帯しています。
・検知器は別途必要となります。
・空焚き検知センサーと過熱検知センサーは別系統で併用してください。
�� メンテナンス性
シングルエンドのヒーター採用により、コンパクトな収納、メンテナンスが容易です。
内部構造
昇温データ
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仕 様
| 方 式 | ハロゲンランプヒーターによる放射加熱方式 | |||
|---|---|---|---|---|
| 品 番 | CLH2603T-25P | CLH3903T-25P | CLH4123T-25P | |
| 性能構成 | ヒーター電力 | 6KW | 9KW | 12KW |
| 最高使用温度 | 180℃ | |||
| 接液部材質 | 高純度石英ガラス | |||
| 許容内圧 | 0.4MPa | |||
| 配管口径（石英） | 25mm [※1］ | 25mm | 25mm | |
| 適合配管（フッ素樹脂） | φ25mm [※1］ | φ25mm | φ25mm | |
| 安全機構 | 過昇温センサー、過熱検知センサー、漏液検知導線 | |||
| 消費電力 | AC200V 6KVA | AC200V 9KVA | AC200V12KVA | |
| 筐 体 | 筐体材質 | フッ素樹脂（ＰＴＦＥ） | ||
| 筐体寸法（W×L×H) | 230×432×242mm [※2］ | 230×432×242mm [※2］ | 230×432×242mm [※2］ | |
| 重 量 | 約14kg | 約15kg | 約16kg | |
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価 格 |
￥1,100,000 （税抜 ￥1,000,000） |
￥1,210,000 （税抜 ￥1,100,000） |
￥1,320,000 （税抜 ￥1,200,000） |
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※ 石英ガラス、フッ素樹脂を浸す薬液にはご使用いただけません。
※ 石英管用継手は、貴社でご用意ください。（石英管施工標準：日本ピラー工業様クォーツ継手対応）
※１ 配管口径φ20mm機種「ｰ20P」もございます。
※２ 筐体（L）寸法には石英上下配管IN／OUT寸法を含みません。
概略図、寸法を含めたカタログ版は下記ダウンロードファイルよりご覧いただけます。
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