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プラズマインジケータ™(Plasma Indicator) / PLAZMARK®

「PLAZMARK®」は、照射されたプラズマの処理条件に応じて連続的に変色する、プラズマ処理効果の評価ツール(インジケータ)です。
本商品は装置内に置いてプラズマ処理するだけで、処理効果を可視化できます。
安価で簡便に工程のバラツキや面内分布を評価でき、生産性や歩留まりの向上に役立ちます。

PLAZMARK® O₂クリーニング用/Arクリーニング用

O₂クリーニング用

O₂をはじめ、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃などラジカル性のプラズマ検知に最適化したインジケータです。

(Arプラズマでも変色する場合があります)

O₂ラジカルに反応するため、UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。

Arクリーニング用

O₂クリーニングでは検知しにくいイオン性のArプラズマを効率よく検知できるインジケータです。

ラジカル主体のプラズマやラジカル源となるガスとの混合系では、O₂クリーニング用のほうが適しています。

用途

・めっき前の表面改質

・ワイヤーボンディング・フリップチップボンディングなど接合面の表面改質

・部品実装後のアンダーフィル前クリーニング

・LSI、メモリ、MEMS、LED等電子デバイスの封止前のクリーニング

仕様

PLAZMARK® O₂クリーニング用

PLAZMARK® Arクリーニング用


PLAZMARK® 大気圧プラズマ用

新規有機色材の開発により、大気圧プラズマのラジカル種に特化した検知性能を実現。

プリント配線板製造/FPD製造/フィルム加工など、大面積の大気圧(常圧)プラズマ処理のチェックに適しています。

UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。

仕様

PLAZMARK® 大気圧プラズマ用


PLAZMARK® 耐熱性

色材に無機材質、基材にポリイミドを採用することにより、ラベル型でありながら高い耐熱性(200℃)を実現。

フレキシブル性、接着性がありますので、基盤表面や装置内に自由に貼り付け評価できます。

仕様

PLAZMARK® 耐熱性



※プラズマインジケータ、Plasma IndicatorPLAZMARKは螢汽ラクレパスの商標または登録商標です。

  PLAZMARKは日本、ヨーロッパ共同体、米国、その他の国で登録商標を受けています。