PLAZMARK®　O₂クリーニング用／Arクリーニング用

O₂クリーニング用

O₂をはじめ、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃などラジカル性のプラズマ検知に最適化したインジケータです。

（Arプラズマでも変色する場合があります）

O₂ラジカルに反応するため、UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。

Aｒクリーニング用

O₂クリーニングでは検知しにくいイオン性のAｒプラズマを効率よく検知できるインジケータです。

ラジカル主体のプラズマやラジカル源となるガスとの混合系では、O₂クリーニング用のほうが適しています。

用途

・めっき前の表面改質

・ワイヤーボンディング・フリップチップボンディングなど接合面の表面改質

・部品実装後のアンダーフィル前クリーニング

・LSI、メモリ、MEMS、LED等電子デバイスの封止前のクリーニング

仕様

PLAZMARK®　O₂クリーニング用

PLAZMARK®　Arクリーニング用

PLAZMARK®　大気圧プラズマ用

新規有機色材の開発により、大気圧プラズマのラジカル種に特化した検知性能を実現。

プリント配線板製造／FPD製造／フィルム加工など、大面積の大気圧（常圧）プラズマ処理のチェックに適しています。

UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。

仕様

PLAZMARK®　大気圧プラズマ用

PLAZMARK®　耐熱性

色材に無機材質、基材にポリイミドを採用することにより、ラベル型でありながら高い耐熱性（200℃）を実現。

フレキシブル性、接着性がありますので、基盤表面や装置内に自由に貼り付け評価できます。

仕様

PLAZMARK®　耐熱性

PLAZMARK®　デスミア用

面倒な重量測定なしで、プラズマデスミア工程を管理

プリント配線板ビアホールのプラズマデスミア用の貼付が可能なラベル型インジケータです。
プラズマデスミアで代表的なO₂＋CF₄系ガスに対応しています。
他のPLAZMARK®ラインナップがレンジオーバーしてしまう高出力長時間の強力なプラズマ処理にもお使いいただけます。
フレキ基板に貼り付けてロールtoロール式プラズマデスミア装置で搬送処理が可能なフレキシブル性を備えています。

仕様

PLAZMARK®　デスミア用

※プラズマインジケータ、Plasma Indicator、PLAZMARKはサクラクレパスの商標または登録商標です。

　 PLAZMARKは日本、ヨーロッパ共同体、米国、その他の国で登録商標を受けています。