石英ガラス、CaF2、結晶材料など素材と精密加工、設計(光学・メカ)、光学ユニット製作まで
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株式会社大興製作所
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インラインヒーター

大興製作所のCLヒーター(chemical Line Heater)は、半導体製造プロセスにおける
各種薬液の高温加熱用として 高純度の石英ガラスを使用したハロゲン光源を利用した
クリーンな高効率な加熱ユニットです。使用継手についてはカスタム可能ですので
ご相談ください。

特 徴

クリーン 熱交換部分の接液、外管を石英ガラスで構成
安全性 テフロン(耐酸、耐熱)設計
有効性 省スペース化、液量の少量化
熱源 ハロゲンランプヒーターによる赤外線光エネルギー
筐体 メンテナンスが容易なコンパクトサイズ

 

仕 様

   

ハロゲンランプヒーターによる放射加熱方式

   

CLH2603T-25P

CLH3903T-25P

CLH4123T-25P

性能構成

ヒーター電力

6KW

9KW

12KW

最高使用温度

180℃

接液部材質

高純度石英ガラス

許容内圧

0.4MPa

配管口径(石英)

   25mm  [※1

   25mm

   25mm

適合配管(フッ素樹脂)

φ25mm [※1

φ25mm

φ25mm

安全機構

過熱温度センサー、空焚き検知センサー、漏液検知帯

消費電力

AC200V 6KVA

AC200V 9KVA

AC200V12KVA

筐体

筐体材質

フッ素樹脂(PTFE)

筐体寸法(W×L×H)

230×432×242mm  [※2

230×432×242mm  [※2

230×432×242mm  [※2

重 量

14kg

15kg

16kg

   

¥935,000 (税抜¥850,000)

¥1,045,000 (税抜¥950,000)

¥1,375,000 (税抜¥1250,000)

※ 石英ガラス、フッ素樹脂を浸す薬液にはご使用いただけません。

※ 石英管用継手は、貴社でご用意ください。(石英管施工標準:日本ピラー工業様クォーツ継手対応)

※1 配管口径φ20mm機種「ー20P」もございます。CLH2603T-20P機種のみ筐体寸法は190×432×201(mm)となります。

※2 筐体(L)寸法には石英上下配管IN/OUT寸法を含みません。