製品情報
金属薄膜基板
ガラス基板上にクロム（Cr）またはチタン/銅（Ti/Cu）を数十nm単位でスパッタ成膜した薄膜基材です。半導体研究、光学デバイス開発、MEMS加工、センサー電極形成など、幅広い先端分野で利用いただけます。
使用分野・使用方法
・フォトリソグラフィによる微細パターン形成用のベース基板として
・微細電極（ゲート電極など）などの形成実験用
・MEMSスイッチ、アクチュエータ、マイクロ流体デバイスの電極
・樹脂材の塗布評価
・金や銅など他金属を蒸着する前の下地基板
・光学マスク・フォトマスク（光透過パターン）
規格製品
下記製品は規格品としてラボマイスター（オンラインショップ）で販売しています。
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膜構成 |
サイズ | セット枚数 | 価格 | 購入 |
| Cr（100nm狙い） | ▢100×0.7t (mm) | 1 | ¥35,000(税込 ¥38,500) |  |
| Cr（100nm狙い） | ▢100×0.7t (mm) | 3 | ¥80,000(税込 ¥88,000) | |
| Cr（100nm狙い） | ▢100×0.7t (mm) | 5 | ¥110,000(税込 ¥121,000) | |
| Ti＋Cu（20＋100nm狙い） | ▢100×0.7t (mm) | 1 | ¥38,000(税込 ¥41,800) | |
| Ti＋Cu（20＋100nm狙い） | ▢100×0.7t (mm) | 3 | ¥87,000(税込 ¥95,700) | |
| Ti＋Cu（20＋100nm狙い） | ▢100×0.7t (mm) | 5 | ¥120,000(税込 ¥132,000) | |
共通仕様
※基材：ガラス Eagle-XG
※ガラス基材厚み公差：±0.07�弌�
※梱包形態：PET製トレー梱包
〜 標準品以外のサイズ、厚み、形状にも対応していますのでお気軽にお問合せください 〜
注意事項
保管方法
・窒素ガスを充填したデシケータ等での保管が望ましいです。
・デシケータ等がない場合は、PET製トレーで梱包した状態で、室内の常温で保管してください。
保証期間
・上記保管条件にて、出荷日から3ヶ月間となります。
