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フライアイレンズ

光源の照度均一化に。大興製作所の高品質フライアイレンズ。

レンズを縦横に並べた構造で光を均一化するフライアイレンズ(インテグレーターレンズ)は、半導体製造装置や産業用検査装置、プロジェクターなどで幅広く使われています。フライアイレンズを使用することで拡散性が強い光源でも均一光にすることができます。
大興製作所のフライアイレンズは独自のレンズ間融着加工技術(製法特許取得)により石英ガラスの一体化を可能にし、高い強度と耐久性、耐熱性を有した高精度の接合を実現しました。

大興製作所の強み

  (1) お客様のニーズに合わせ形状設計。

     形状カスタマイズすることで光量損失を10%改善した実績があります。

 (2) 高品質を実現するための品質保証を行っています。

     独自の加重テストで高い強度と耐久性を保証します。

 (3) 独自の加工技術により、接着剤を一切使用しません。

     ガス発生や紫外線劣化の心配をなくしました。

        

                 

用途 / 実例

 フライアイレンズ(インテグレーターレンズ)は、下記の用途に使用されています。

 ・ 露光装置

 ・ プロジェクター

 ・ ソーラーシミュレータ

 ・ ビームホモジナイザー

 ・ その他、レーザー、LEDなど光源の強度均一

 大興製作所のフライアイレンズは10年以上に渡り、大手露光装置メーカーで実績があります。

   

仕様

2枚構成のレンズアレイ ( R1,R2:設計値に依る)

外形

約15mmから500mm程度
単レンズサイズ 約5mmから70mm程度
厚み 設計値に依る
接合数 約単レンズ100枚程度
偏芯 5分以内
面精度 ニュートン5本(材料は石英ガラスとします)

型成形シリカガラス製フライアイレンズ

ゾルゲル法により型成形された一体型シリカガラス製のフライアイレンズです。
Deep UVからIRまでの広い範囲で高い透過率を維持し、非球面レンズやフレネル
レンズなどの幾何学的形状や、今まで量産化が困難な製品の生産も可能になり
ました。形状の自由度も高まりましたので、顧客ニーズに合わせた形状設計が
可能です。二次加工も可能ですので、是非一度お問い合わせ下さい。