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Labo-Pro シリーズ

最先端の研究機関や開発センター、企業研究部署などで
ハイスペック、高品質な製品ニーズが高まっています。
「Labo-Pro」はお客様の高度なスペック要求に対して、
精度を保証した窓板、基板製品をご提供させていただきます。
「この材質のこの精度はできますか?」といったお悩みから
お気軽にご相談ください。

 

Labo-Pro Super Polished / 面粗さ保証基板

光学薄膜などの成膜工程において、基板表面粗さは成膜後の薄膜の光学特性へ大きな影響を与えます。
大興製作所では、ハイスペックな成膜製品用の基板として、面粗さを保証した基板製品を提供しています。
    
  
◆製品仕様一例

サイズ(mm) 10×10×1t
材 質 合成石英
面粗さ 2 Å

※所定の検査書を付属します。

   

     

Labo-Pro Flat / 高精度基板

レーザー用ミラーの基板など、成膜後の製品面精度が求められる製品用の基板です。
面精度とキズ規格について、ご要望のスペックにて作成いたします。
    
   
◆製品仕様一例

サイズ(mm) φ50×6t
材 質 合成石英
面精度 λ/10 (透過波面)

    

Labo-Pro Super Thin / 超薄型基板

基板の厚みによる影響を可能な限り減らしたいというニーズに対応し、極限まで薄くした基板製品を提供しています。

厚さ50μ(ミクロン)の石英基板の製作実績があります。
   
     
◆製品一例
サイズ(mm) 10×10
厚 さ 50μ(ミクロン)
材 質 合成石英

    

   

対応素材

石英素材以外も、様々な素材での加工を行っています。
用途、アプリケーションに応じた材料の選定も行います。
    

・合成石英ガラス(CVD材、VAD材)
・溶融石英ガラス
・各種光学ガラス(BK7など)
・i線用光学ガラス
・シリコン(Si)
・フッ化カルシウム(蛍石/CaF2)
・サファイア(酸化アルミニウム/AL2O3)
・マグネシア(酸化マグネシウム/MgO)
・テンパックス/パイレックス 等