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半導体分野向け製品

半導体装置用ガラス製品
石英槽
石英槽

半導体製造のバッチ式ウエット(薬液処理、洗浄)プロセスで使用される石英ガラス槽を製作しています。

ベルジャー・チャンバー
ベルジャー・チャンバー

ベルジャーやチャンバーをはじめとするエッチング・アッシング用石英部品や、ランプアニール用石英チャンバーなどの石英ガラス製品です。

ウエハーガイド・ボート
ウエハーガイド・ボート

半導体製造のウエット洗浄プロセス、拡散・CVDプロセス用のウエハーガイド・ボードをお客様の仕様に応じて製作します。

チューブ
チューブ

半導体製造プロセスで使用される炉芯管(アウター、インナー)、反応管、二重管などの多彩な石英ガラス製品を製作いたします。

ヒーター
インラインヒーター
インラインヒーター

各種薬液の高温加熱用として 高純度の石英ガラスを使用したハロゲン光源を利用したクリーンな高効率な加熱ユニットです。

石英ガラスヒーター
石英ガラスヒーター

石英ガラス管投げ込みヒーターは、ヒーター外部を石英ガラス管でおおった、薬液加熱に最適なヒーターです。

ハロゲンヒーター
ハロゲンヒーター

熱源として非常に高効率なエネルギー源です。
大興製作所では用途に応じて、様々な形状のヒーターを製作しています。

テフロンヒーター
テフロンヒーター

薬液加熱用投げ込みテフロン被覆ヒーターです。接液部はオールフッ素樹脂で構成しています。

その他
プラズマインジケータ™(Plasma Indicator) / PLAZMARK®
プラズマインジケータ™(Plasma Indicator) / PLAZMARK®

「PLAZMARK®」は、照射されたプラズマの処理条件に応じて連続的に変色する、プラズマ処理効果の評価ツール(インジケータ)です。

フォトリソ・メンテナンス用ライト
フォトリソ・メンテナンス用ライト

先端露光機やコータ・デベロッパ装置など、フォトリソ環境での作業に最適な高輝度イエローライト

熱電対/熱電対保護管
熱電対/熱電対保護管

大興製作所では、使用温度など諸条件に応じて、様々なタイプからご使用に適した熱電対を選択できます。