分野別製品一覧

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分野別(半導体分野向け製品 -> 半導体装置用ガラス製品)

石英槽
石英槽

半導体製造のバッチ式ウエット(薬液処理、洗浄)プロセスで使用される石英ガラス槽を製作しています。

ベルジャー・チャンバー
ベルジャー・チャンバー

ベルジャーやチャンバーをはじめとするエッチング・アッシング用石英部品や、ランプアニール用石英チャンバーなどの石英ガラス製品です。

ウエハーガイド・ボート
ウエハーガイド・ボート

半導体製造のウエット洗浄プロセス、拡散・CVDプロセス用のウエハーガイド・ボードをお客様の仕様に応じて製作します。

チューブ
チューブ

半導体製造プロセスで使用される炉芯管(アウター、インナー)、反応管、二重管などの多彩な石英ガラス製品を製作いたします。