製品情報
分野別製品一覧（石英/素材加工製品 -> 半導体装置用ガラス製品）
石英槽
半導体製造のバッチ式ウエット(薬液処理、洗浄)プロセスで使用される石英ガラス槽を製作しています。
ベルジャー・チャンバー
ベルジャーやチャンバーをはじめとするエッチング・アッシング用石英部品や、ランプアニール用石英チャンバーなどの石英ガラス製品です。
ウエハーガイド・ボート
半導体製造のウエット洗浄プロセス、拡散・CVDプロセス用のウエハーガイド・ボードをお客様の仕様に応じて製作します。
チューブ
半導体製造プロセスで使用される炉芯管（アウター、インナー）、反応管、二重管などの多彩な石英ガラス製品を製作いたします。
